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氬氣流量對(duì)二氧化鈦薄膜光觸媒性能的影響
本研究探討了氬氣流量對(duì)濺鍍二氧化鈦及碳薄膜特性的影響。通過調(diào)整氬氣流量,分析鍍膜速率、光觸媒效能、薄膜結(jié)構(gòu)等變化。發(fā)現(xiàn)高氬氣流量有利于二氧化鈦的沉積速率,但影響碳薄膜特性,導(dǎo)致sp2鍵結(jié)比例增加及表面粗糙度升高,影響光透過率。低氬氣流量則促進(jìn)更連續(xù)、更致密的薄膜成長(zhǎng),增多sp3鍵結(jié),改善光學(xué)性能。更多 +
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