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: 電子級(jí)六氟化硫逐漸實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代

六氟化硫（化學(xué)式：SF6）在正常條件下是一種無色、無味、無毒、無味和不易燃的氣體。作為一種電子氣體，六氟化硫具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性和耐熱性。
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: 六氟化硫電子氣體

六氟化硫（SF6）作為一種電子氣體,具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性和電絕緣性，在半導(dǎo)體、電力設(shè)備、航空航天、金屬加工、醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
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: 六氟化硫制作工藝

六氟化硫在常溫常壓下是一種無色、無臭、無毒、不燃、無腐蝕性的氣體，氣體密度61139g/L，其化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，500～600℃不分解，和酸、堿、鹽、氨、水等不反應(yīng)，在電弧作用下(幾千度)分解為S和F的原子氣，但電弧一旦解除，便在0-5～10-6s內(nèi)復(fù)合成SF6。六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能，其耐電強(qiáng)度為同一壓力下氮?dú)獾?15倍，擊穿電壓是空氣的215倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優(yōu)于空氣和油的新一代超高絕緣介質(zhì)材料。 ? 六氟化硫制作：工業(yè)上六氟化硫氣體通常是由電解產(chǎn)生的氟在中
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: 氦氣應(yīng)用（一）

（1）火箭、宇宙飛船、液體燃料導(dǎo)彈等在加注燃料之前，必須使用氦清洗增壓液氫罐和管道系統(tǒng)。因?yàn)樵谝簹涞牡蜏丨h(huán)境中，任何其他惰性氣體，如氮?dú)饣驓鍤舛紩?huì)凍結(jié)并與液氫混合堵塞管道和閥門，而氦是唯一液化溫度遠(yuǎn)低于氫的惰性物質(zhì)，在這個(gè)應(yīng)用上氦是無法替代的。（2）第四代核反應(yīng)堆中，反應(yīng)堆設(shè)計(jì)采用高達(dá)790℃的氣體冷媒溫度，在此溫度下，只有氦（4He）具有必需的化學(xué)穩(wěn)定性、惰性、高傳熱速率、低動(dòng)力學(xué)壓力損失和低中子有效截面。這一方面，氦氣也是是無法替代的，并且將是未來氦氣需求增長的主要?jiǎng)恿Α? （3）在航空航天金屬
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: 六氟化硫行業(yè)產(chǎn)能及應(yīng)用領(lǐng)域，半導(dǎo)體國產(chǎn)化帶動(dòng)電子級(jí)SF6需求

六氟化硫（化學(xué)式為SF6）常態(tài)下是一種無色、無味、無毒、無嗅的非燃燒性氣體。作為一種電子氣體，六氟化硫具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性以及耐熱性，在半導(dǎo)體、電力設(shè)備、航空航天、半導(dǎo)體制造、金屬加工、醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域不同，六氟化硫可分為工業(yè)級(jí)六氟化硫以及電子級(jí)六氟化硫，近年來，隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)提升，市場對(duì)電子氣體純度、質(zhì)量等要求越來越高，在此背景下，六氟化硫產(chǎn)業(yè)逐漸由工業(yè)級(jí)向電子級(jí)方向升級(jí)。電子級(jí)六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應(yīng)用在半導(dǎo)體、面板顯示器件
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: 六氟化硫是什么？車間里如何防范？

六氟化硫可以制作新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體，被廣泛用于電子、電氣設(shè)備的氣體絕緣。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源，在制造低損耗優(yōu)質(zhì)單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準(zhǔn)分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測及其他部門用作示蹤劑、標(biāo)準(zhǔn)氣或配制標(biāo)準(zhǔn)混合氣。在高壓開關(guān)中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化學(xué)穩(wěn)定性好和對(duì)設(shè)備不腐蝕等特點(diǎn)
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: 六氟化硫氣體簡介

一．六氟化硫的歷史自1900年法國化學(xué)家摩森（H.Moissan）和李博(P.Lebeau)在實(shí)驗(yàn)室中將硫在氟氣中燃燒以制備六氟化硫（SF6）氣體以來，人們已從中收益非淺。因純SF6氣體的化學(xué)穩(wěn)定性，早期用于進(jìn)行人工治療肺結(jié)核空洞；同時(shí)因其優(yōu)異的絕緣和滅弧性能也倍受人們的關(guān)注。從1940年作為絕緣介質(zhì)開始，迄今已被廣泛地應(yīng)用在電力設(shè)備中，如高壓斷路器、變壓器、互感器、電容器、避雷器、接觸器、熔斷器、管道母等。二．六氟化硫的物理性質(zhì) SF6作為一種絕緣氣體，具有很多優(yōu)點(diǎn)，是一種無色、無味、無毒、
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: 六氟化硫制作工藝

六氟化硫在常溫常壓下是一種無色、無臭、無毒、不燃、無腐蝕性的氣體，氣體密度61139g/L，其化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，500～600℃不分解，和酸、堿、鹽、氨、水等不反應(yīng)，在電弧作用下(幾千度)分解為S和F的原子氣，但電弧一旦解除，便在0-5～10-6s內(nèi)復(fù)合成SF6。六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能，其耐電強(qiáng)度為同一壓力下氮?dú)獾?15倍，擊穿電壓是空氣的215倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優(yōu)于空氣和油的新一代超高絕緣介質(zhì)材料。 &nbs
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: 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究：四氟甲烷

四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢是超純、超凈和多品種、多規(guī)模，各國為推動(dòng)本國微電子工業(yè)的發(fā)展，越來越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言，CF4
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