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特種氣體在蝕刻中的應(yīng)用
刻蝕分為濕法蝕刻和干法蝕刻。???硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。???蝕刻氣體氣體工業(yè)名詞,蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表…更多 +
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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又稱四氟甲烷,被視為一種無機化合物。用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣 體及制冷劑。常溫常壓下比較穩(wěn)定,但是需要避免接觸強氧化劑、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃?xì)怏w, 如果遇到高熱后會造成容器內(nèi)壓增大,有開裂、爆炸危險。通常常溫下只會與液氨-金屬鈉試劑能發(fā)生作 用。更多 +
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四氟化碳CF4化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
四氟化碳CF4化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 四氟化碳,四氟化碳氣體,四氟化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體,四氟化碳混合氣體 一、化學(xué)品名中文名稱:四氟化碳MSDS別 名: 四氟甲烷英 文 名:Carbon tetrafluoride二、成分組成信息名 稱:四氟化碳MSDS有害成分:受熱分解后可產(chǎn)生氟化氫。濃 度:99.999%分 子 量:88.01分 子 式:CF4CAS: 75-73-0三、危害性概述危險性類別:第2.2類 不燃?xì)怏w侵入途徑:吸入健康危害:吸入高濃度的四氟化碳出現(xiàn)呼更多 +
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六氟化硫氣體抽樣檢測有哪些
六氟化硫氣體的質(zhì)量應(yīng)按照國家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進行驗證。測試項目包括空氣(N2、O2)、四氟化碳(CF4)、六氟化硫(SF6)、SF6微水測試(H2O)、酸度(HF)、可水解氟化物(HF),礦物油和毒性生物測試。試驗結(jié)果應(yīng)符合GB/T12222的規(guī)定。 (1) 當(dāng)六氟化硫氣體中的濕度相對較高時,當(dāng)設(shè)備中發(fā)生電弧時,氣體的電弧分解產(chǎn)物會產(chǎn)生許多有毒物質(zhì),如SOF2、HF等。,這會腐蝕斷路器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)材料并威脅維護人員的人身安全。此外,當(dāng)濕度高時。隨著溫度的變化,絕緣部件表面會產(chǎn)生冷凝,導(dǎo)致表面翻轉(zhuǎn)。它降低了絕緣更多 +
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四氟化碳僅僅只是一種超低溫冷媒嗎?
CF4,中文名稱四氟化碳、四氟甲烷,英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。也被稱為R-14制冷劑,別名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名稱有Freon 14等。 四氟化碳氣體理化特性 在常溫下,四氟甲烷是無色、無臭、不燃,不溶于水的可壓縮性氣體。沸點:-128℃,熔點:-183.6℃。液體密度(-130℃)1.613g/cm3,臨界溫度-45.67℃,臨界壓力3.74Mpa,蒸氣壓(-150.7更多 +
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四氟化碳的應(yīng)用
四氟化碳,又稱為四氟甲烷。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳,也可以被視為一種無機化合物。所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過程中,需要使用四氟化碳。在蝕刻過程中,用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉,附有油墨的電路上銅皮得以保留,之后再用四氟化碳進行清洗電路上的油墨再烘干,等工藝。 在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。 &nb更多 +
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中國工程物理研究院
中國工程物理研究院(China Academy Of Engineering Physics),簡稱“中物院”,是國家科研計劃單列的中國唯一的核武器研制生產(chǎn)單位,是以發(fā)展國防尖端科學(xué)技術(shù)為主的集理論、實驗、設(shè)計、生產(chǎn)為一體的綜合性研究院。中物院的研究領(lǐng)域包括物理學(xué)、力學(xué)與數(shù)學(xué)、化學(xué)與材料、信息科學(xué)與電子工程等方面。 中物院在物理學(xué)、力學(xué)與數(shù)學(xué)、化學(xué)與材料、信息科學(xué)與電子工程等項目研究上需要用到6N超純氣、特種氣體(六氟化硫、四氟化碳、三氯化硼、三氟甲烷、硅烷)、更多 +
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三氟化氮等特種電子氣體高速發(fā)展
近年來,《中國制造2025》、《“十三五”國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》、《關(guān)于集成電路生產(chǎn)企業(yè)有關(guān)企業(yè)所得稅政策問題的通知》等政策扶持,我國超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池等產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展。同時,含氟特種電子氣體伴隨這些行業(yè)的高速發(fā)展增長亦十分可觀。 常用的含氟特種電子氣體有六氟化硫(SF6)、六氟化鎢(WF6)、四氟化碳(CF4)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)、六氟乙烷(C2F6)和八氟丙烷(C3F8)等。 三氟更多 +
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標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)廠家|紐瑞德特種氣體|湖北氣體生產(chǎn)廠家
在我們生活中存在著很多的氣體,有些氣體對我們的幫助是十分大的,而標(biāo)準(zhǔn)氣體就是這些氣體的統(tǒng)稱,標(biāo)準(zhǔn)氣體可以幫助我們進行很多的工作,電子、太陽能、半導(dǎo)體、電力、科研、照明、制藥、石油化工、建材和食品等行業(yè)都有著廣泛應(yīng)用。 紐瑞德由從事氣體行業(yè)23年的資深技術(shù)人員創(chuàng)建,引進美國先進的氣體生產(chǎn)技術(shù)、分析的設(shè)備和質(zhì)量管理理念。主要經(jīng)營:稀有氣體(氪、氙、氖、氦)、同位素產(chǎn)品、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體、電子氣體(六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮等)、高純/超純氣體(氬、氮、氧、氫等)。 公司生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)更多 +
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