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微電子工業中的六氟化硫
六氟化硫因其靈敏度高、無毒、性能相對穩定、檢測技術和方法可靠、性質多樣、含量低，常被用作環境保護和管理行業空氣污染監測和水文地質問題研究的示蹤劑更多 +
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電子氣體應用領域六氟化硫
特種電子氣（簡稱特種電子氣）是特種氣體的一個重要分支，是生產集成電路（IC）、平板顯示器（LCD、LED、OLED）、太陽能（8.360，-0.12，-1.42%）電池等電子工業不可或缺的原材料。更多 +
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氮氣在冶金工業和電子工業中的應用
冶金工業 在冶金工業中，氮氣主要用作保護氣體和吹掃氣體。在軋鋼和金屬熱處理過程中，由于氮的保護，金屬的高溫氧化減少，表面光滑。向有色金屬熔煉爐中充氮可以降低含氧量和溫度，減少氧化，提高產品純度。用氮氣清洗鋼水，降低鋼水中的氫含量，提高產品強度。向高爐噴入86%的氮氣可以降低焦炭消耗，延長使用壽命。向等離子弧爐中充氮可生產氮化高速工具鋼。 電子工業 在電子工業中，用干燥的氮氣吹制硅片可以保持硅片干燥和清潔。在大型集成電路的制造中，高純氮可用作化學反應氣體的載氣、惰性保護氣體和封裝氣體。更多 +
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半導體產業鏈之電子特種氣體行業深度研究：四氟甲烷
四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、 控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應用。由于它的化學穩定性極 強，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業等。當今超大規模集成電路所用電子氣體的特點和發展趨勢是超純、超 凈和多品種、多規模，各國為推動本國微電子工業的發展，越來越重視發展特種電子氣體的生產技術。就目前 而言，CF4更多 +
