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高純氣體的常見(jiàn)雜質(zhì)有哪些?
高純氣體的常見(jiàn)雜質(zhì)有哪些? 常規(guī)雜質(zhì)：H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O 特殊雜質(zhì)：顆粒物、油份、金屬離子、同位素物質(zhì)污染、亞穩(wěn)態(tài)物質(zhì)污染 雜質(zhì)來(lái)源：原料污染、生產(chǎn)工藝副產(chǎn)物、工藝失效污染、過(guò)程污染 環(huán)境帶入：空氣組分(O2, N2, Ar, CO2), 水分 生產(chǎn)裝置，管路，充裝裝置帶入：水分，金屬元素，顆粒物，油份 生產(chǎn)工藝富集 包裝污染 殘氣污染 包裝本身帶入污染：水分，金屬元素，顆粒物 分解聚合污染 &更多 +
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