根據氣體性質和供應包裝的不同，一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。

電子氣體行業的定義

電子氣體是電子工業生產不可缺少的原料，如超大規模集成電路、平面顯示器、復合半導體器件、太陽能電池、光纖等。它們廣泛應用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。

電子燃氣需求分析

電子氣體傳輸系統是指電子氣體從氣源端穩定傳輸至工藝生產設備的氣體消耗點，無二次污染，并控制工藝所需的流量和壓力等參數，滿足工藝過程的要求，充分保證工藝和產品的安全使用。

根據中國報告廳發布的報告，消費電子產品種類繁多，現代化程度越來越高，不同生產規模和水平的生產設施和科研設施與同類產品共存。根據投資規模和產品質量的不同實際要求，行業對電子輸氣系統基本有以下三類要求：

1.1大型供氣系統

大規模供氣系統主要針對大規模生產8-12英寸（1英寸=25.4mm）大型集成電路（氣體類型包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等）、100MW以上太陽能電池生產線（氣體類型包含NH3）、LED外延工藝線（氣體種類包括NH3），五代以上LCD設備（氣體種類包括4,3，nf3）玻璃纖維（氣體種類包含SiCl4）、硅材料外延生產線（氣體種類含HCL）等行業。他們投資規模巨大，采用最先進的工藝設備，天然氣需求量大。他們對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出了最高要求。

上述工廠的大宗天然氣主要通過現場采氣或工業園區內的管道供應。年產5萬片的8英寸超大規模集成電路廠對高純氮氣的需求超過5000Nm3/h，LED外延工藝線和硅外延生產線的氫氣需求超過100Nm3/h。

除了裝在普通鋼瓶（50L和底部）中的特殊氣體外，通常還有許多種特殊氣體裝在大容器中，因此稱為散裝特殊氣體，包括Y鋼瓶（450L）、T鋼瓶（980L）、鋼瓶架（940L），ISO罐（22500L）、魚雷車（13400L）等。

散裝專用供氣系統（BSGS）采用全自動PLC控制和彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥和壓力傳感器，可實現自動切換、自動氮氣沖洗和自動真空輔助排氣；多重安全措施、泄漏檢測、遠程緊急停機；特殊氮沖洗的來源等。特殊氣體采用獨立氣源，多功能點采用VMB或VMP分支供氣，分支氣動閥、氮氣沖洗、真空輔助排空等。用于VMB或VMP。由于BSGS氣源量大，通常使用獨立的氣室和獨立的通風系統。

1.2常規送風系統

傳統供氣系統主要用于4-6英寸大型集成電路系統、50MW以下太陽能電池生產線、LED芯片加工線等中耗氣電子行業。他們的投資規模中等。生產線可以使用設備。控制氣體純度的要求不嚴格。系統配置盡可能簡單，以節省投資，前提是滿足安全要求。

傳統供氣系統中的大多數普通大型天然氣由現場液體儲存（LIN、LOX、LAR）或容器網絡（H2、He）供應。天然氣通過管道系統輸送至工廠，天然氣通過三通直接輸送至用氣點。