高純硅烷灌裝前,首先利用高純氮?dú)狻?a href="/haiqi.shtml" class='con_kwd' title="氦氣">氦氣對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行高壓檢漏,真空置換。
然后分析氣源,氣瓶是否合格,待一切準(zhǔn)備就緒后,生產(chǎn)儲(chǔ)罐輸送來(lái)的高純硅烷氣經(jīng)壓縮機(jī)增壓后通過(guò)灌裝控制面板充入已準(zhǔn)備就緒的容器中,完成灌裝后,系統(tǒng)自動(dòng)切斷。隨后更換下一批容器進(jìn)行灌裝。
如果灌裝時(shí)間間隔較長(zhǎng),灌裝完成后,應(yīng)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行減壓、置換,不可使系統(tǒng)中長(zhǎng)期存有硅烷。
硅烷灌裝示意流程見(jiàn)下圖