氦質譜檢漏：工業檢測的靈敏守護者  

氦質譜真空泄漏檢測方法由于其獨特的原理和技術優勢，在工業檢測中占有重要地位。以下是其

主要優點和具體分析：

氦質譜檢漏是目前已知靈敏度最高的檢漏技術之一，最小可檢漏率可達到 5×10 −12Pa⋅m  3/s 甚

至更低

。其核心原理是通過質譜儀選擇性地識別氦離子，即使是極少量的氦泄漏也能被準確地捕捉到。

例如，在真空噴射法中，氦分子可以通過小漏孔快速進入檢測系統，顯著提高

。在噴射法或吸槍法操作中，通過掃描被檢件表面，可以快速鎖定漏點位置。例如，噴槍用于噴槍。

≤掃描8mm/s的速率時，一旦檢測到氦峰信號，就可以反向慢慢掃描，準確定位漏點

復雜結構適用性:大型或異形工件(如航天器密封艙)可通過氦罩法或真空壓力法檢測到，覆蓋傳統方

法難以觸及的區域

現代氦質譜泄漏檢測儀集成了計算機控制技術，支持自動校準、數據記錄和分析。例如，該設備可

以自動調節離子加速電壓以匹配氦峰，并通過軟件實時顯示泄漏曲線，以減少人工操作誤差

。例如，在航空領域，泄漏檢測系統需要滿足泄漏指標靈敏度要求的1/10，氦質譜泄漏檢測儀可

以通過校準泄漏修正溫度等因素來保證長期穩定性

氦質譜真空泄漏檢測方法以其高靈敏度、快速響應、廣泛適用性和安全性，已成為精密制造和高密

封行業的核心檢測手段。隨著自動化技術的深入應用，其在新能源、半導體等領域的價值將進一步

凸顯。