六氟化硫的其他用途。
另外，在鎂合金的溶解中，六氟化硫氣體或六氟化硫和氮的混合物經常被用作保護氣體。目的是防止金屬鎂及其合金被空氣氧化。

六氟化硫通常在tft - lcd面板工廠和其他微電子產業中作為清潔氣體和蝕本氣體使用。六氟化硫在光導纖維的生產過程中，經常被用作單膜纖維絕緣層的摻雜物。

六氟化硫通常在大氣污染監測和水文地質學調查領域作為指示劑使用。六氟化硫無毒、安全、性能穩定、檢測方法可靠、在空氣和水中的含量低，因此常被用作氣體示蹤劑。六氟化硫的消失距離可達100公里。